Мультифизическое моделирование MEMS-устройств
Модуль «MEMS» используется для моделирования кварцевых и кремниевых электромеханических резонаторов и актуаторов, а также различных пьезоэлектрических приборов. При этом доступен учёт преднапряжений и нелинейных эффектов. Инструменты модуля «MEMS» также позволяют исследовать эффекты термического расширения актуаторов и датчиков.
Помимо этого, в модуле «MEMS» реализованы инструменты для описания многих важных для индустрии мультифизических эффектов. Среди них гигроскопическое расширение, термоупругое демпфирование, потери в тонких пленках разреженного газа, сопряженное воздействие жидкости и твердых тел друг на друга, пьезорезистивный эффект, электрострикция и сегнетоэлектроупругость.
Модуль «MEMS» может быть использован совместно с другими модулями расширения COMSOL Multiphysics®. При сопряжении с модулем «AC/DC» можно исседовать эффекты магнитострикции. При сопряжении с модулем «Механика конструкций» можно использовать интерфейсы пониженной размерности для описания оболочек. При сопряжении с модулем «Микрогидродинамика» появляется возможность моделировать биомедицинские устройства с учётом гидродинамических эффектов.