Здесь представлены презентации, которые демонстрировались на конференциях COMSOL по всему миру. В презентациях рассказывается о передовых исследованиях и инновационных продуктах, созданных с помощью COMSOL Multiphysics. Исследования относятся к различным отраслям и областям применения, включая электрические, механические, гидродинамические и химические дисциплины. Чтобы найти презентации из нужной области, воспользуйтесь функцией быстрого поиска.

Parameter Extraction and Support-Loss in MEMS Resonators

Peter Steeneken
Project Leader
RF MEMS Research Group
NXP Semiconductors
Eindhoven, The Netherlands

In this paper it is shown how the equivalent circuit parameters of a MEMS resonator can be simply obtained from an eigenfrequency simulation. Additionally, it is demonstrated that the Q-factor as a result of support losses in a MEMS resonator can be determined using a matched boundary layer. The method is applied to calculate the frequency dependent admittance of a diamond disk resonator. ...