2024 年 5 月 30 日 13:30–17:30

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COMSOL 主题日:微电子器件

探索多物理场仿真的无限可能

微电子器件已被广泛应用于多个领域,如能源、汽车、消费电子、医疗等。随着微电子器件向更高集成度、更高功率的趋势发展,其在工作过程中涉及的多种物理现象之间的相互作用对器件性能的影响越来越大,准确的多物理场仿真分析对于电子器件的设计和优化提供了重要帮助。COMSOL Multiphysics® 多物理场仿真软件可以分析各种微电子器件的工作原理,帮助研发人员优化设计,提高产品的性能和可靠性。

在此次 COMSOL 微电子器件主题日活动中,来自行业内的专家将向您展示多物理场仿真技术在微电子器件设计中的应用。您将了解如何使用 COMSOL 多物理场仿真,进行射频器件、功率器件、MEMS 器件、光电器件等微电子器件的设计和优化。

欢迎您邀请同事及好友参加此次活动,请查阅和分享页面下方的日程表,了解活动的具体安排。

日程安排

1:30 p.m.

随着电子技术的快速发展与更新迭代,多物理场耦合仿真在微电子器件研发过程中的作用越来越重要。COMSOL Multiphysics® 是业内领先的多物理场仿真软件,可以对微电子器件中广泛存在的结构力学、传热、流体流动和电磁等各种物理现象及其相互作用进行精确模拟,帮助工程师和设计人员理解器件内部的工作原理,优化产品设计和生产工艺,提升产品的性能和可靠性,加快研发进程。

本环节中,我们将介绍 COMSOL Multiphysics® 在微电子器件仿真中的应用,以及如何通过定制的多物理场仿真 App 和数字孪生模型,帮助工程人员开展协作。

1:50 p.m.

上海矽睿科技股份有限公司,安兴

近年来,MEMS 惯性传感器尺寸越来越小,在挑战工艺极限的同时也对系统稳定性提出很高的要求。电容检测式加速度计极板间的关键尺寸越小,灵敏度越高,同时静电吸合的风险也越大。静电吸合特性在静电激励微结构设计中非常重要,比如在设计微电容器时要避开吸合现象以得到稳定的特性。本次演讲将围绕上述问题进行阐述,主要介绍吸合效应的仿真验证与实测数据的对比,以及 COMSOL 软件在相关工作中的应用。

2:20 p.m.

上海交通大学,邵磊

5G 通信中频段范围高至 6 GHz,但目前国际上绝大多数滤波芯片产品都集中在 2 – 3 GHz,在 4 – 6 GHz 范围内少有性能优异的产品。这主要受到 5G 滤波器中超高频振动器件品质因子低、杂散振动多、机电耦合系数低等难点问题的制约,而归根到底是在于对 MEMS 谐振器的超高频振动模态不清楚,且缺乏有效的测量手段和精确的仿真方法。本团队首次提出了一种针对超高频振动模态的动态显微成像测量技术,针对 MEMS 谐振器开展了测量表征和仿真分析等工作,对比了实验和 COMSOL 仿真结果,提出了杂散振动模态的动态行为和演变规律,为这类关键器件的设计优化提出了新理论和方法。

2:50 p.m.

无锡华润微电子有限公司,朱恩成

3:20 p.m.

珠海镓未来科技有限公司,温嘉雯

在新能源汽车中应用 GaN 表贴器件能够极大提升车载电源的功率密度,提高生产效率,而汽车中高温、高湿、高压的极端应用环境对器件所使用的塑封料提出了更高的防潮耐温要求。本次演讲将首先介绍基于菲克扩散定律对两种常用环氧塑封料的吸湿扩散特征进行的研究。在得到相关实验数据的基础上,使用COMSOL 中的参数估计功能,得到相关的湿气扩散特征参数,然后采用 COMSOL 的固体传热、稀物质传递、固体力学等仿真功能,对 TOLL 外形塑封器件在湿热环境中的湿气扩散行为及湿热应力分布进行了模拟。最后基于实际应用,分别对两款环氧塑封料塑封的 GaN TOLL 器件进行了 MSL、HAST、TC 可靠性验证,证明了低吸湿的环氧塑封料在 GaN SMD 中具有更高的可靠性。

3:50 p.m.

恒脉微电子(南京)有限公司,李懿霖

压电泵作为一种微型化、多学科耦合的执行器件,在医疗器械领域具有广泛的应用,如针对气体的高背压压电泵已被用于血压监测、科学仪器、内窥机器人等。在微型化的基础上,高背压、大流量一直是压电泵在设计制备中不断挑战的极限。压电泵的工作原理涉及结构、电磁、流体、传热等多物理场耦合效应,在设计制备过程中需要多次反复迭代,特别是一些工艺参数也会对压电泵的谐振造成重要的影响。本次演讲将围绕压电泵的发展方向、研究进展,以及如何使用 COMSOL 软件对压电泵进行设计、求解工艺参数对谐振频率的影响和瞬态分析进行阐述。

4:20 p.m.
并行环节
SAW/BAW 器件

SAW(Surface Acoustic Wave,声表面波)和 BAW(Bulk Acoustic Wave,体声波)、以及FBAR(Film Bulk Acoustic 薄膜体声)等器件被广泛应用于无线通信、传感器和滤波器等领域,是射频前端的关键核心元件。这类器件的本质是压电换能器,利用谐振选择性地传输,增强或抑制特定频率的信号。其结构设计需要精准控制材料及尺寸,以符合特定的需求,例如,中心频率、带宽、品质因子等。在实际应用中还需要考虑工作时的能量损耗,以及温升导致的性能漂移等现象。COMSOL 可以对 SAW/BAW 等器件的工作原理进行精确的多物理场仿真,分析并预测其性能,确保产品的可靠性和稳定性。

本环节中,我们将介绍 COMSOL 中常用的多种分析方法,包括频率响应、特征频率和预应力分析,不同阻尼模式的影响,以及结果处理中的 S 参数计算、损耗分析、功率耐受,以及等效电路参数提取,等等。

陀螺仪,加速度计和电容式器件

加速度计和陀螺仪作为惯性测量单元的核心器件,已被广泛应用于智能穿戴设备、手机,以及汽车等多个领域。加速度计和陀螺仪在工作过程中通常涉及压电、静电、结构等多个物理现象及其之间的相互作用,通过 COMSOL 多物理场仿真可以帮助研发人员更直观地了解其工作原理,优化设计方案,提高惯性测量的精准性。

本环节中,我们将介绍 COMSOL Multiphysics® 在加速度计、陀螺仪和其他电容式 MEMS 器件中的仿真应用。

压电器件

压电和压阻器件中在其工作过程中通常涉及复杂的物理现象及其之间的相互耦合作用。COMSOL Multiphysics® 不仅可以对压电/压阻效应进行仿真,更能综合考虑此类器件中常见的热-结构、流体-结构等多物理场耦合效应,帮助研发人员对设计进行优化。

本环节中,我们将介绍 COMSOL Multiphysics® 在压电和压阻器件仿真中的应用,以及热电、电致伸缩和磁致伸缩等多物理场效应的仿真方法。

5:00 p.m.
并行环节
电子器件热管理

随着科技的不断发展,各类电子产品呈现出大功率、小型化的趋势,电子器件的发热和散热成为工程人员在产品设计中需要关注的重要问题。良好的热管理方案为器件的正常运行提供了保障。COMSOL Multiphysics® 可以模拟电子器件中涉及的各种物理现象,例如,产品在运行过程中的发热、温度分布,以及不同设计和材料属性对系统散热性能的影响,等等。工程人员可以通过对器件的热效应进行仿真分析,优化热管理方案,提升产品的性能和安全。

本环节中,我们将介绍 COMSOL Multiphysics® 在各类电子器件热管理中的应用,包括不同电子产品的发热模拟,以及散热方案的设计和优化。我们还将介绍电子产品中的热效应与其他物理现象的耦合仿真和分析方法。

半导体功率器件

随着绿色能源技术和汽车电气化的快速发展,对整流器、逆变器等功率电子设备的需求日益广泛增加,其中大量地使用了金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)、绝缘栅双极晶体管(IGBT)、二极管等各类半导体功率器件,其性能和可靠性会直接影响最终产品的性能和安全。

COMSOL Multiphysics® 为模拟半导体功率器件提供了专业功能,不仅可以提取集总电路,还能让用户在设计集成电路,以及 MOSFET 、 IGBT 等器件时考虑温度和结构变化的影响。

本环节中,我们将展示 COMSOL® 多物理场仿真软件在半导体功率器件仿真方面的功能。

光电器件

在射频和光学通信应用中,光电器件的发射、接收和探测等性能至关重要。

光电器件的工作过程中涉及多个物理场之间的相互作用,除了电致发光、光生伏特中的光电转换,还有非辐射复合等导致的发热以及温度对光电效应的影响等。在光电器件的生产与测试之前,利用仿真工具进行设计和评估至关重要。

本环节中,我们将介绍如何使用 COMSOL Multiphysics® 对光电器件进行仿真,包括如何评估发射光谱、I-V、P-V 曲线,以及量子效率,等等。

5:40 p.m.
结束

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COMSOL 主题日详情

主办地开始时间:
2024 年 5 月 30 日 | 13:30 (UTC+08:00)
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特邀嘉宾

安兴 上海矽睿科技股份有限公司
温嘉雯 珠海镓未来科技有限公司
李懿霖 恒脉微电子(南京)有限公司
邵磊 上海交通大学